developer eching,蚀刻,显影,光刻,湿法去胶机,Tracker 旋涂
喷嘴式SPRAY显影装置也能对应PADDLE显影 使用液晶触摸屏控制器,简单输入程序 可以扩展到3中试剂 连续处理药液、清洗、甩干 内建药液压缩泵。 ...
spin coater 旋涂机 半导体 匀胶机 上膜机 涂布机 wafer 晶圆 旋涂
采用AC私服电动机 无刷式,不会造成无尘室污染 减少电动机发热,也减少因连续使用时的温度上升造成封膜厚再现性的影响 电力消耗低,节能环保 扩展程式功能 多有100中程式,可记忆十种模式,更容易使用 所... ...
手动光刻机,便宜,性能好。 产地;日本 可根据客户具体要求,定制。 适合研发类用户 曝光类型:单面 ◆曝光面积:≥φ115mm ◆曝光不均匀性:≤±3% ◆曝光强度:≥20mw/cm2 ◆曝光分辨率:1μm ◆曝光... ...
Ushio 紫外线汞灯 ??ASML、CANON、Ultratech、Nikon等大型光刻机 光源灯
日本Ushio 公司是的半导体光刻设备光源供应商,占有份额。 ???? 特点: 、Ultr... ...
ICP-PECVD HDPECVD 高密度等离子等离子增强化学气相沉积半导体微电子 二氧化硅氮化硅
ICPPECVD HDPECVD 高密度等离子体增强化学气相沉积 超低温沉积 成熟的技术,庞大的装机量,是VLSI(标准样片公司)供应商。有单腔手动方片。性价比很高。特别适合高校和研究单位。 I... ...
RIE Reactive Ion Etching 反应离子蚀刻 干法蚀刻 半导体硅片 高选择比
RIE,全称是Reactive Ion Etching,反应离子刻蚀,一种微电子干法腐蚀工艺。 成熟的技术,庞大的装机量,是VLSI(标准样片公司)供应商。有单腔手动方片。性价比很高。特别适合高校和研... ...
PECVD 等离子体增强化学气相沉积设备 薄膜沉积设备 SiNx和SiO2薄膜 半导体二氧化硅 等
等离子体增强化学气相沉积PECVD,成熟的技术,庞大的装机量,是VLSI(标准样片公司)供应商。有单腔手动方片。性价比很高。特别适合高校和研究单位。 PECVD系统能够沉积高质量SiO2薄膜... ...
Semilab SDI 硅片少数载流子扩散长度及CV电性检测设备 SPV 金属含量 硅太阳能 集成
仪器简介: 应用: ◆硅料 ◆太阳能 ◆集成电路制造等 技术参数: Semilab SDI设备主要用于硅片体内的少数载流子寿命(扩散长)的监测及定量定性检测影响少数载流子的寿... ...
详细信息 UX-4系列全自动投影式光刻设备主要运用于大尺寸的LED芯片生产和研发。同时又可以运用于半导体MEMS芯片的新品开发和大批量生产。 特点: *限度的提高生产良率。(焦点深度... ...
辛耘科技致力于高端清洗蚀刻设备的研发和生产 拥有强大的研发与软件编写团队 实现完全自主的软硬件售后服务和升级 程度地解决了客户的后顾之优 产品涵盖2”~12”主流湿法工艺以及薄片... ...
Ushio 手动光刻机(MANUAL EXPOSURE SYSTEM
Ushio手动光刻设备UPE-1102LU主要应用于LED芯片(蓝白光,红黄光)研发和生产当中,并且对全自动生产线所产生的LED芯片破片有辅助生产和处理的功能。同时也能对应一些较为特殊材质的芯片如:... ...
Toho FLX-2320-S 薄膜应力计 KlA-Tencor 薄膜应力测试设备
仪器简介: 应用: ◆各种材质及薄膜应力分析。 ◆ 其他型号:FLX-3300 (适用于12”样片) 技术参数: Toho FLX-2320-S薄膜应力计测量多种衬底材料、金属和电介质等薄... ...
FRT光学表面量测仪器 表面轮廓仪 原子力显微镜 膜厚测量 粗糙度测量 3D形貌 mems
详细信息 仪器简介: 功能 ◆ 三维轮廓 ◆ 粗糙度(Roughness) ◆ 形貌(TTV,BOW,Warp) ◆ 膜层厚度(Film Thickness) ◆ 原子力显微镜(AFM) 应用 ◆ 汽车工业 ◆ 半导体... ...
Semilab – Sopra椭偏仪 GES5E 薄膜厚度、n值及k值的测量
仪器简介: 应用: ◆ 薄膜厚度、n值及k值的测量,可应用于任何薄膜生长或者镀膜工艺的监控。 技术参数: Sopra公司是世界上的椭偏仪设备供应商,其高的椭偏仪在半... ...